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Self-Powered and Soft Polymer MEMS/NEMS Devices
Self-Powered and Soft Polymer MEMS/NEMS Devices
Ajay Giri Prakash Kottapalli
,
Kai Tao
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Debarun Sengupta
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This book explores the fabrication of soft material and biomimetic MEMS sensors, presents a review of MEMS/NEMS energy harvesters...
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