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Fabrication of GaAs Devices

Albert G. Baca
,
Carroll I. H. Ashby
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This book provides fundamental and practical information on all aspects of GaAs processing. The book also gives pragmatic advice o...

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Description

This book provides fundamental and practical information on all aspects of GaAs processing. The book also gives pragmatic advice on cleaning and passivation, wet and dry etching and photolithography, and dry etching.

Informations sur le produit

Titre:
Fabrication of GaAs Devices
Auteur:
Albert G. Baca
,
Carroll I. H. Ashby
EAN:
9781849190688
Format:
eBook (pdf)
Producteur:
The Institution of Engineering and Technology
Genre:
Sciences naturelles
Parution:
01.01.2005
Protection contre la copie numérique:
Adobe DRM

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