Inhalt
1 Vakuumphysik.- 1.1 Benennungen.- 1.2 Wichtige gaskinetische Formeln und Tabellen.- 1.3 Strömungsvorgänge.- 1.4 Richtlinien für die Pumpenauswahl.- 1.5 Absaugen von Dämpfen.- 1.6 Kühlfallen, Dampfsperren (Baffles) und Adsorptionsfallen.- 1.7 Ionen-Getterpumpen.- 1.8 Vakuummeßinstrumente.- 1.9 Partialdruckmeßgeräte.- 1.10 Undichtigkeiten und Lecksuchgeräte.- 1.11 Ultrahochvakuumtechnik.- 2 Vakuumtechnik.- 2.1 Vakuumzubehör.- 2.2 Hochvakuumverfahrenstechnik.- 2.3 Werkstoffe, Dampfdrücke, Siedepunkte, Schmelzpunkte, Gasdurchlässigkeit usw.- 2.4 Gasabgabe und Getterung.- 2.5 Anwendungsgebiete.